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美国Agilent安捷伦|复合分子泵Turbo-V 81-M维修

编号：007
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商品介绍

详细参数

复合分子泵Turbo-V 81-M ：

特点：
Varian复合分子泵性能优良，节能的同时也降低了发热，提高了复合分子泵的可靠性，优化了空气散热的冷却片，从而获得更高的稳定性。除此之外可以优化Turbo-V 81-M MacroTorr 复合分子泵的几何结构，提高前级耐压和足够大的抽气量，降低能耗和发热，可拆卸的前级管道接口可选空气或水冷却方式进行冷却。

新Turbo-V 81-AG 架装控制器：
※可从前面板或遥控方式进行操作
※可以适用于世界各国不同电网的电压和频率
※在停泵过程中可显示泵的转速
※在停泵过程中可以进行反馈制动
※可以通过延时或设置开启时间来驱动充气阀
※可以驱动直流24V的泵冷却风扇
※可通过 EyesysMini-IMG真空变送器读取高真空压力
※可选择Profbus 界面
※可选RS-232 或 RS-485 界面

抽速(l/s)
CF4 1/2&ISO63
CF2 3/4&KF40
N₂:77 He:65 H₂:50
N₂:50 He:56 H₂:46

压缩比 N₂: 5×10⁸ He:8×10⁴H₂:7×10³

推荐前级泵压强 5×10^-3mbar/3.8×10^-10 Torr

入口法兰 CF4 1/2' O.D. ISO63
CF4 3/4' O.D. KF40

前级法兰 KF16 NW

转速 1350Hz(最大值）

启动时间＜60s

推荐前级泵机械泵：Varian DS42-DS102
干泵：Varian SH100

工作位置任意

冷却空气冷却，也可选空气或水冷却

烘烤温度 120°C入口法兰（最大值）（CF法兰）
80°C入口法兰（最大值）（ISO法兰)

震动（入口法兰）＜0.01um

重量Kg/ lbs ISO63: 2/4.4
CF4 1/2: 2.98/6.57

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商品评论

抽速(l/s) CF4 1/2&ISO63 CF2 3/4&KF40	N₂:77 He:65 H₂:50 N₂:50 He:56 H₂:46
压缩比	N₂: 5×10⁸ He:8×10⁴H₂:7×10³
推荐前级泵压强	5×10^-3mbar/3.8×10^-10 Torr
入口法兰	CF4 1/2' O.D. ISO63 CF4 3/4' O.D. KF40
前级法兰	KF16 NW
转速	1350Hz(最大值）
启动时间	＜60s
推荐前级泵	机械泵：Varian DS42-DS102 干泵：Varian SH100
工作位置	任意
冷却	空气冷却，也可选空气或水冷却
烘烤温度	120°C入口法兰（最大值）（CF法兰） 80°C入口法兰（最大值）（ISO法兰)
震动（入口法兰）	＜0.01um
重量Kg/ lbs	ISO63: 2/4.4 CF4 1/2: 2.98/6.57